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實(shí)驗(yàn)室小型CVD系統(tǒng)管式爐哪家有？

您的位置：專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)真空爐、管式爐、箱式爐、氣氛爐等設(shè)備的源頭廠家-洛陽(yáng)西格馬高溫電爐有限公司首頁(yè)-高溫管式爐-氣氛管式爐

實(shí)驗(yàn)室小型CVD系統(tǒng)管式爐哪家有？

系列：SGM

別稱：氣氛管式爐

溫度：

規(guī)格：

類型：高溫管式爐

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實(shí)驗(yàn)電爐CVD系統(tǒng)什么意思？CVD是Chemical Vapor Deposition的簡(jiǎn)稱，是指高溫下的氣相反應(yīng)，例如，金屬鹵化物、有機(jī)金屬、碳?xì)浠衔锏鹊臒岱纸猓瑲溥€原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬、氧化物、碳化物等無(wú)機(jī)材料的方法。
真空CVD系統(tǒng)簡(jiǎn)稱CVD系統(tǒng)，CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，額定溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

1700度管式爐

這款CVD系統(tǒng)是由8路供氣系統(tǒng)+SGM1200雙溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成

SGM1200雙溫區(qū)管式爐:以硅碳棒或電爐絲為加熱元件，有兩個(gè)加熱區(qū)，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，每個(gè)加熱區(qū)能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端裝有304不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門(mén)和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，該爐為臥式，兩個(gè)溫區(qū)可以立控制、設(shè)置不同的溫度，使用方便，操作簡(jiǎn)單。該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的不錯(cuò)產(chǎn)品.。

實(shí)驗(yàn)室想買(mǎi)一套CVD的設(shè)備請(qǐng)問(wèn)管式爐什么牌子?洛陽(yáng)西格馬高溫電爐專業(yè)生產(chǎn)CVD管式爐CVD實(shí)驗(yàn)真空爐。

1200℃單溫區(qū)CVD系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)：

?1200℃管式爐CVD系統(tǒng)

單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)

SGM.? CVD/12L

1200℃

?420mm

210mm

?Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm

?2.5Kw

?220V

?廈門(mén)宇電控溫系統(tǒng)50段程序控溫；

? ±1℃

＜1200℃

密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù)，在密封法蘭與管外壁間形成了密封，在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效，該密封法蘭的安裝只需在一第次使用設(shè)備的時(shí)候安裝

?質(zhì)量流量計(jì)

?3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定

?±1%F.S

≤4sec

5-45℃

?進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）

?采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x

?中真空

?10Pa/100Pa

?雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/S,出氣口配有油污過(guò)濾器，額定電壓220V，功率0.55Kw

? ? ? ? ? ? ? ? ? ?340×580×555mm

? ? ? ? ? ? ? 480×770×605mm

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?530x1440x750mm

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 230kg

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單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)
SGM.? CVD/12L
1200℃
?420mm
210mm
?Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm
?2.5Kw
?220V
?廈門(mén)宇電控溫系統(tǒng)50段程序控溫；
? ±1℃
＜1200℃
密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù)，在密封法蘭與管外壁間形成了密封，在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效，該密封法蘭的安裝只需在一第次使用設(shè)備的時(shí)候安裝
?質(zhì)量流量計(jì)
?3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）
0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定
?±1%F.S
≤4sec
5-45℃
?進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）
?采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x
?中真空
?10Pa/100Pa
?雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/S,出氣口配有油污過(guò)濾器，額定電壓220V，功率0.55Kw
? ? ? ? ? ? ? ? ? ?340×580×555mm	? ? ? ? ? ? ? 480×770×605mm
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?530x1440x750mm
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 230kg