管式爐是為生長石墨烯研制的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)，爐體采SGM G1200-SL開啟式管式爐，爐底安裝有直線滑軌，當(dāng)生長結(jié)束后，爐體可自動(dòng)左右移動(dòng)，能夠保證有足夠的空間使實(shí)驗(yàn)樣品移出爐體，實(shí)現(xiàn)快速降溫的要求。

SGM爐膛可根據(jù)工藝進(jìn)行左右自動(dòng)移動(dòng)，SGM爐膛滑軌式管式爐可隨時(shí)改變溫場和快速降溫。爐膛滑軌式管式爐：爐膛可以根據(jù)設(shè)定要求實(shí)現(xiàn)自動(dòng)左右移動(dòng)，而且移動(dòng)速度可人工調(diào)節(jié)。爐膛在一側(cè)升溫至設(shè)定的溫度后直接移動(dòng)到另一側(cè)樣品加熱區(qū)實(shí)現(xiàn)快速升溫，速度可達(dá)140℃/min，在燒結(jié)完畢后爐膛移開樣品加熱區(qū)實(shí)現(xiàn)快速降溫，300℃~1200℃可達(dá)200～50℃/min降溫速率。爐膛自動(dòng)地左右移動(dòng)，來完成材料的快速升降溫試驗(yàn)！

洛陽西格馬可生產(chǎn)1200度雙溫區(qū)軌道式管式爐、三溫區(qū)軌道式管式爐、多溫區(qū)軌道式管式爐、1200℃開啟式滑軌管式爐、小型滑軌式管式爐、水平管式爐、立式(豎式)管式爐、多工位管式爐、傾斜管式爐、 旋轉(zhuǎn)管式爐、滑軌管式爐。

滑軌管式爐主要應(yīng)用：

滑軌管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過左右移動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時(shí)也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動(dòng)到樣品處，達(dá)到快速升溫的效果。石英管作為爐膛，無污染，抗急冷急熱性能好。設(shè)備外形精巧美觀，周邊拓展性好，適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

滑軌管式爐結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

1、爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，高效節(jié)能。

2、加熱元件采用質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，經(jīng)久耐用,額定溫度可達(dá)1200℃。

3、采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，使?fàn)t體表面溫度快速降溫。

4、可選用KF快速法蘭連接，減少了加熱管損壞的可能，取、放物料更加方便快捷。

5、爐體可左右移動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求；

6、智能PID高精度控制，自整定功能，30段可編程控制，可設(shè)置30段升降溫程序,實(shí)現(xiàn)了功率無損耗。

7、預(yù)留真空、氣路快速接口，可配合真空、混氣系統(tǒng)使用；滿足用戶在不同的真空狀態(tài)及不同的氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。

8、預(yù)留485轉(zhuǎn)換接口，通過專用軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能；

9、具有開啟斷電，超溫報(bào)警，漏電保護(hù)等安全操作功能。

滑軌管式爐技術(shù)參數(shù)：