1000度RTP真空快速退火爐\滑軌快速退火爐
使用示例：
樣品加熱到1000℃后，爐膛自動(dòng)移開(kāi)加熱區(qū)，冷卻氣體自動(dòng)打開(kāi)直吹樣品表面實(shí)現(xiàn)極速降溫，樣品溫度降到70℃時(shí)自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動(dòng)到加熱區(qū)繼續(xù)加熱，如此往復(fù)，往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉。快速退火爐一般都是以碘鎢燈管為加熱元件，升溫速度極快，采用S型熱電偶測(cè)溫并采用國(guó)際的模糊PID控制，具有很高的控溫精度〈±5℃〉，快速退火爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作。大大提高了其使用范圍。標(biāo)準(zhǔn)配件需：高溫手套1付，熱電偶1根，石英管1根，真空法蘭1套。可選配件：氧化鋁坩堝，石英坩堝，真空泵。
真空快速退火爐爐體采用雙層鋼結(jié)構(gòu)，高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，額定節(jié)約能源；耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長(zhǎng)使用壽命；氧化鋁管塞可幫助您 在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度。
洛陽(yáng)西格馬高溫電爐可生產(chǎn)真空快速退火爐、快速退火爐RTP。真空快速退火爐可應(yīng)用在不同氣氛環(huán)境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等。異的溫控均勻性,的工藝重復(fù)性。
RTP真空快速退火爐主要用途：
RTP快速退火爐的主要特點(diǎn)有：可在真空/不同氣氛/空氣不同環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理；控溫精度高；適合高等院?；蜓芯繖C(jī)構(gòu)科研使用；主動(dòng)式水循環(huán)冷卻模式；立式設(shè)計(jì)；儀器采用觸摸屏技術(shù)：操作方便，裝取樣片簡(jiǎn)單高效；價(jià)格合理，高性?xún)r(jià)比。
RTP真空快速退火爐結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
1、紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷（低噪音水平，無(wú)需壓縮空氣）；
2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問(wèn)題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過(guò)程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到設(shè)計(jì)初的熱處理效果；
3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設(shè)計(jì)，雙層不銹鋼；
冷壁水冷技術(shù)點(diǎn)在于：1、無(wú)記憶，2、工藝重復(fù)性高，3、冷卻速度快；
4、反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì)，氣體的進(jìn)入口設(shè)計(jì)在wafer的表面，避免在退火過(guò)程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過(guò)程中的均溫性；
5、快速數(shù)字PID控溫；
6、熱電偶配合高溫計(jì)控溫，測(cè)試樣品的溫度，控溫精準(zhǔn)；
7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；
8、設(shè)計(jì)多5路工藝氣體，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器；
9、電腦通過(guò)以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度；
10、可選配石墨托盤(pán)表面涂SiC薄膜設(shè)計(jì)，用于小樣品測(cè)試；
11、可選配分子泵，用于高真空測(cè)試；
RTP真空快速退火爐主要技術(shù)參數(shù)：
| 電爐名稱(chēng) | 真空快速退火爐 | ||
| 產(chǎn)品型號(hào) | SGM.RTP1200/60IT | ||
| 電氣規(guī)格 | AC220V ?2、5KW ? | ||
| 設(shè)計(jì)溫度 | 1000 ℃ （<1小時(shí)） | ||
| 連續(xù)溫度 | 900 ℃ （連續(xù)） | ||
| 額定加熱速率 | ≤ ?20 ℃/分鐘 | ||
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | ||
| 爐管尺寸 | Φ60*1000mm（直徑可選80、100、120） | ||
| 控制系統(tǒng) |
1、可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來(lái)的麻煩； 2、實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀，操作更加便捷； 3、SGM.101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，非線性式樣溫度修正； 4、具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 |
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| 溫度精度 | +/- 1 ℃ | ||
| 加熱元件 | Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | ||
| 密封系統(tǒng) | 真空度：≤10Pa（機(jī)械泵） | ||
| 壓力測(cè)量與監(jiān)控 | 采用帶有減震油的機(jī)械壓力表，可以防止壓力表指針損壞。 | ||
| 供氣系統(tǒng) | 采用浮子流量計(jì)控制，與設(shè)備一體化，方便控制，出廠前已進(jìn)行漏氣測(cè)試工作。 | ||
| 設(shè)備使用注意事項(xiàng) |
1、?設(shè)備退火爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害； 2、?設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過(guò)0、125MPa（絕對(duì)壓力），以防止壓力過(guò)大造成設(shè)備損壞； 3、?真空下使用時(shí)，設(shè)備使用溫度不得超過(guò)800℃。 4、?供氣鋼瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購(gòu)試驗(yàn)用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0、01MPa-0、15MPa,使用時(shí)會(huì)更加精度安全。 ?5、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)； ?6、高純石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度≦1100℃ ? 7、加熱的實(shí)驗(yàn)時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0、02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣端閥門(mén)，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） ? |
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| 服務(wù)支持 | 1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和O形圈等）? | ||
真空快速退火爐使用注意事項(xiàng)：
1、 爐子次使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
2、 爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透（又叫析晶性）是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。
3、 冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升
溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
4、 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5、 爐子使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6、 爐子在工作過(guò)程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否準(zhǔn)確。
7、 此爐適用于下列工作條件：
（1）環(huán)境溫度在/10～75℃之間。
（2）周?chē)h(huán)境的相對(duì)濕度不超過(guò)85%。
（3）爐子周?chē)鷽](méi)有導(dǎo)電塵埃，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
（4）沒(méi)有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸。
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