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      雙溫區(qū)滑軌管式爐
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      雙溫區(qū)滑軌管式爐

      管式爐主要通過(guò)程序自動(dòng)精度控溫來(lái)實(shí)現(xiàn)CVD、PVD和退火處理等實(shí)驗(yàn)手段,并且可以通過(guò)滑軌實(shí)現(xiàn)快速降溫。爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè),以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。想實(shí)現(xiàn)快速地加熱,可將加熱爐預(yù)熱至所需溫度,把爐體滑動(dòng)至樣品位置。 想實(shí)現(xiàn)快速的冷卻,可在樣品處加熱完成后將爐體滑到另一側(cè)。

      雙溫區(qū)滑軌爐規(guī)格參數(shù):

      配置:
      雙溫區(qū)滑軌管式爐一套(帶三路流量控制系統(tǒng)一套氮?dú)?00sccm,氬氣500sccm,氫氣50sccm),KF25抽氣口真空泵一套,法蘭改裝(兩端全部改裝,每端三個(gè)出氣口其中包括KF25抽氣接口,1/4,接口出氣口,以及真空壓力表出氣口和寶塔抽氣接口)

      1、殼體結(jié)構(gòu):雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面的溫度小于60度;爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,減少熱量的損失;內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)1750度高溫氧化鋁涂層可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

      2、功率:2.5KW?

      3、電壓:AC?220V??50Hz/60Hz

      4、工作溫度:額定1200℃(<1h),連續(xù)工作1100℃

      5、升降溫速率:20℃/min

      6、控溫精度:±1℃

      7、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

      8、漏氣率:<5mtorr/min

      9、升溫速率:? ≤10℃/min?

      10、爐管尺寸和法蘭:純度99.8%?的高純石英管;包括不銹鋼真空密封法蘭,針閥,和壓力表

      11、擴(kuò)展接口:標(biāo)配KF25?adapter轉(zhuǎn)接頭;標(biāo)配VCR雙卡套接頭,爐子兩端裝有法蘭支架支架長(zhǎng)度根據(jù)爐管尺寸定做!(非標(biāo)定制)

      12、溫控系統(tǒng):PID智能化溫度控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序;每個(gè)溫區(qū)可以立的設(shè)置,帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)

      13、控制方法:PID自動(dòng)控制

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